硅光芯片耦合測試系統主要工作可以分為四個部分(1)從波導理論出發,分析了條形波導以及脊型波導的波導模式特性,分析了硅光芯片的良好束光特性。(2)針對倒錐型耦合結構,分析在耦合過程中,耦合結構的尺寸對插入損耗,耦合容差的影響,優化耦合結構并開發出行之有效的耦合工藝。(3)理論分析了硅光芯片調制器的載流子色散效應,分析了調制器的基本結構MZI干涉結構,并從光學結構和電學結構兩方面對光調制器進行理論分析與介紹。(4)利用開發出的耦合封裝工藝,對硅光芯片調制器進行耦合封裝并進行性能測試。分析并聯MZI型硅光芯片調制器的調制特性,針對調制過程,建立數學模型,從數學的角度出發,總結出調制器的直流偏置電壓的快速測試方法。并通過調制器眼圖分析調制器中存在的問題,為后續研發提供改進方向。端面耦合器需要解決的問題是模斑尺寸的匹配,而光柵耦合器由于需要特定角度入射光,主要需要解決光路偏折。上海射頻硅光芯片耦合測試系統機構

硅硅光芯片耦合測試系統中硅光耦合結構需要具備:硅光半導體元件,在其上表面具有發硅光受硅光部,且在下表面側被安裝于基板;硅光傳輸路,其具有以規定的角度與硅光半導體元件的硅光軸交叉的硅光軸,且與基板的安裝面分離配置;以及硅光耦合部,其變換硅光半導體元件與硅光傳輸路之間的硅光路,且將硅光半導體元件與硅光傳輸路之間硅光學地耦合。硅光耦合部由相對于傳輸的硅光透明的樹脂構成,樹脂分別緊貼硅光半導體元件的發硅光受硅光部的至少一部分以及硅光傳輸路的端部的至少一部分,硅光半導體元件與硅光傳輸路通過構成硅光耦合部的樹脂本身被粘接。上海射頻硅光芯片耦合測試系統機構硅光芯片自動耦合系統,通過圖像識別實現關鍵步驟的自動化。

硅光芯片耦合測試系統是由激光器與硅光芯片集成結構,結構包括:激光器芯片,激光器芯片包括第1波導;硅光芯片,硅光芯片包括第二波導,第二波導及第1波導將激光器芯片發出的光耦合至硅光芯片內;第1波導包括依次一體連接的第1倒錐形波導部,矩形波導部及第二倒錐形波導部;第二波導包括第1氮化硅光芯片,第二氮化硅光芯片及硅光芯片;其中,第1氮化硅光芯片,第二氮化硅光芯片及硅光芯片均包括依次一體連接的第1倒錐形波導部,矩形波導部及第二倒錐形波導部。相比于現有技術中的端面耦合,本實用新型的耦合方式對倒裝焊過程中的對準精度要求更低,即使在對準有誤差的實際工藝條件下,仍然具有較高的耦合效率。

既然提到硅光芯片耦合測試系統，我們就認識一下硅光子集。所謂硅光子集成技術，是以硅和硅基襯底材料（如SiGe/Si、SOI等）作為光學介質，通過互補金屬氧化物半導體（CMOS）兼容的集成電路工藝制造相應的光子器件和光電器件（包括硅基發光器件、調制器、探測器、光波導器件等），并利用這些器件對光子進行發射、傳輸、檢測和處理，以實現其在光通信、光互連、光計算等領域中的實際應用。硅光技術的中心理念是“以光代電”，即采用激光束代替電子信號傳輸數據，將光學器件與電子元件整合至一個單獨的微芯片中。在硅片上用光取代傳統銅線作為信息傳導介質，較大提升芯片之間的連接速度。光通信的一個發展趨勢是實現集成化，類似于集成電路，將光通信系統集成在單一光電子芯片。

硅光芯片耦合測試系統主要工作可以分為四個部分：1、利用開發出的耦合封裝工藝,對硅光芯片調制器進行耦合封裝并進行性能測試。分析并聯MZI型硅光芯片調制器的調制特性,針對調制過程,建立數學模型,從數學的角度出發,總結出調制器的直流偏置電壓的快速測試方法。并通過調制器眼圖分析調制器中存在的問題,為后續研發提供改進方向。2、針對倒錐型耦合結構,分析在耦合過程中,耦合結構的尺寸對插入損耗,耦合容差的影響,優化耦合結構并開發出行之有效的耦合工藝。3、從波導理論出發,分析了條形波導以及脊型波導的波導模式特性,分析了硅光芯片的良好束光特性。4、理論分析了硅光芯片調制器的載流子色散效應,分析了調制器的基本結構MZI干涉結構,并從光學結構和電學結構兩方面對光調制器進行理論分析與介紹。在通信器件的高級市場上，硅光芯片的作用更加明顯。上海射頻硅光芯片耦合測試系統機構

硅光芯片耦合測試系統硅光芯片的好處：使用大規模集成性。上海射頻硅光芯片耦合測試系統機構

在光芯片領域，芯片耦合封裝問題是光子芯片實用化過程中的關鍵問題，芯片性能的測試也是至關重要的一步驟，現有的硅光芯片耦合測試系統系統是將光芯片的輸入輸出端光纖置于顯微鏡下靠人工手工移動微調架轉軸進行調光，并依靠對輸出光的光功率進行監控，再反饋到微調架端進行調試。芯片測試則是將測試設備按照一定的方式串聯連接在一起，形成一個測試站。具體的，所有的測試設備通過光纖，設備連接線等連接成一個測試站。例如將VOA光芯片的發射端通過光纖連接到光功率計，就可以測試光芯片的發端光功率。將光芯片的發射端通過光線連接到光譜儀，就可以測試光芯片的光譜等。上海射頻硅光芯片耦合測試系統機構