全自動晶圓盒清洗機（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:適用場景：用DIW/有機溶劑（可選）實現FOUP清潔，通過高速旋轉/紅外燈管/CDA等多種技術實現FOUP干燥。設備特點：清洗對象：6/8/12半自動FOUP/Cassette/POD。設備主要構成：旋轉鼠籠(便捷式可180°旋轉后固定結構)、DIW噴淋系統、紅外加熱干燥系統、有機溶劑清洗系統（可選）等機構組成。清洗能力：8只FOUP/小時（依配置的清洗腔真空腔數量而定）。干進干出。人工分離FOUP、POD，人工上下料及更換工裝。旋轉式離心清洗，可正反調速旋轉，對于產品表面的附著殘留物容易去除。工裝設有防呆機構，防止人工將清洗件放置錯誤。鼠籠設有旋轉到位防呆檢測。動平衡偵測轉籃未定位保護，降低因人為導致設備損壞。主軸以伺服馬達控制達到穩定加減速及轉速數值化設定控制，主軸震動值可監測。可預設多條Recipe，操作簡潔。選配SECS/GEM接口?？蓪崿F工件數據追溯，具有過點信息、狀態監控、故障匯總、訂單下發等功能。 選擇芯夢設備，讓你的生產更加智能化、自動化！甘肅購買清洗機設備展會

FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）清洗設備是用于清洗和處理半導體制造中使用的FOUP（前開式統一載具）的設備。FOUP是一種用于運輸和儲存半導體晶圓的載具，通常由塑料材料制成，具有前開式設計和統一的尺寸標準。FOUP清洗設備的作用是將FOUP清洗干凈，去除表面的污染物和顆粒，以確保在半導體制造過程中使用的晶圓始終保持良好的潔凈度。FOUP清洗設備通常具有以下主要組成部分：清洗艙：清洗艙是FOUP放置和清洗的區域。它通常包括一個容納FOUP的托盤或夾具，并配備噴淋裝置、超聲波清洗器、噴氣裝置等清洗裝置。氣流系統：氣流系統用于提供潔凈的氣流環境，以防止新的顆粒進入FOUP。它通常包括高效過濾器和空氣凈化系統，以確保提供高質量的潔凈氣氛?？刂葡到y：控制系統用于監控和控制清洗設備的運行。它包括傳感器、執行器和計算機控制單元，用于監測和調節清洗過程中的溫度、壓力、時間等參數。水處理系統：水處理系統用于提供清潔的水源，用于清洗FOUP。它通常包括反滲透系統、離子交換器和過濾器，以去除水中的離子、顆粒和有機物。遼寧本地清洗機設備展會江蘇芯夢，值得你的信賴！

全自動FOUP清洗機是半導體制造環節中的清潔衛士。它的性能和創新的設計，為FOUP的清潔提供了可靠的解決方案。該清洗機采用了先進的機械臂技術，能夠精細地抓取和移動FOUP，確保清洗過程的平穩和高效。其內部的多噴頭設計，能夠實現噴淋，無死角地清潔FOUP的各個部位。同時，機器還具備自我診斷和故障報警功能。一旦出現異常情況，它會及時發出警報并停止運行，很大程度地減少損失。比如，當清洗劑不足或壓力異常時，系統會立即提醒操作人員進行處理。

我們的FOUP清洗機具有多項**性能設計，以確保在使用過程中盡可能地降低風險和保護操作人員的**。以下是我們清洗機的**性能介紹：

DBPS動平衡保護；

WirelessSensorfool-proofProtectionSystem；

無線傳感器保護系統；

LPLPS防漏液保護；

LLPS液位防護；

Hightemperatureinterlockcontrolprotection高溫聯鎖控制防護；

Interlockprotectionofelectriccabinet內置門電控箱聯鎖防護；

WindPressureProtection風壓防護；

Cassette表面保護 我司設備結構穩固，性能可靠，是你的生產好幫手！

我們提供各種半導體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗，并防止細菌滋生專項研發雙流體旋轉噴射清洗方式，實現超微精密清洗，節能設計;高效干燥技術，AMC化合物去除技術全生產過程實時監控，兼容自動傳輸系統(AMHS);SEMI通訊標準兼容GEM300，符合SEMIS2、S8標準高產量，占地面積設計。

我們的晶圓盒清洗機采用智能化設計，結構緊湊，占用空間小，適合各種生產場景。外觀精美，質感上乘，提升了生產品質。同時，我們的晶圓盒清洗機具有多種智能功能，能夠自動識別晶圓盒類型，自動調整清洗和干燥的參數，保證清洗和干燥的效果穩定可靠。操作簡單，維護方便，降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機，讓您的晶圓生產更加智能化、便捷！

芯夢設備采用先進的生產工藝，幫助你實現高效生產！貴州晶圓清洗機設備展會

江蘇芯夢半導體設備有限公司是你的必備之選！甘肅購買清洗機設備展會

FOUP內的污染物可以來自多個來源，以下是其中一些常見的來源：過程殘留物：在半導體制造過程中，涉及到各種化學物質、溶劑、清洗劑等。這些物質可能在晶圓處理過程中殘留在FOUP內，成為污染物的來源。顆粒物：在半導體制造環境中，微小顆粒是一個主要的污染源。這些顆?？梢詠碜钥諝庵械幕覊m、工作環境的雜質、設備的磨損等。這些顆粒物有可能通過FOUP的開口進入FOUP內部，導致污染。人為操作：在FOUP的處理、維護和運輸過程中，如果操作不當，例如沒有正確地清潔操作工具、使用臟手觸摸FOUP等，都會引入污染物。傳輸和存儲過程：FOUP在制造過程中需要經過多個環節的傳輸和存儲，包括機器之間的傳輸、暫存庫等。在這些過程中，如果傳輸設備或存儲環境不潔凈，或者FOUP密封不嚴密，都會導致污染物進入FOUP內。外部環境污染：FOUP在制造過程中可能暴露在環境中，例如在潔凈室內。如果潔凈室內的空氣質量不佳，存在空氣中的微塵和顆粒物可能會進入FOUP內部，并成為污染源。甘肅購買清洗機設備展會